滚柱导轨的精度等级主要根据其表面精度、滑块与导轨表面的公差以及定位精度等性能指标来划分。根据不同的标准和应用需求，精度等级的划分存在一定的差异。
滚柱导轨的精度等级标准是根据每一元件的性能特征来划分的，精度等级高的滚柱导轨，其指定的元件性能要求更严格，可以实现更高精度要求，等级要求高的，必须使用经过校准的形度测量仪量测。而精度等级低的滚柱导轨则节省制造成本，实现一定精度要求较为经济适用。
1、行走平行度：普通级（无标注/C）5μm，高级（H）3μm，精密级（P）2μm，超精密级（SP）1.5μm，超超精密级（UP）1μm。
2、导轨精度等级：一般导轨以滑块运动为主要性能指标，导轨表面精度等级达到P6级，滑块与导轨表面的公差达0.022mm/1000mm。
高精度导轨的表面精度等级达到P7级，滑块与导轨表面的公差达到0.008mm/1000mm。此外，在直线运动的同时，它要求滑块在一定距离内的定位精度达到0.002mm/100mm。中精度导轨的表面精度等级达到P5级，滑块与导轨表面的公差为0.015mm/1000mm。
电子半导体行业对精度的要求非常高，而直线导轨正是满足这一需求的理想选择。在晶圆传输系统中，直线导轨可以确保晶圆在不同工序之间快速、精准地传递。从清洗到光刻，再到蚀刻，每一步都需要极高的稳定性，否则就可能影响芯片的质量。
此外，在检测设备中，为了实现微米甚至亚微米级别的测量精度，直线导轨的表现至关重要。哪怕是最微小的形变，都可能导致测量结果出现偏差。因此，只有具备高精度特性的直线导轨才能胜任这样的任务。可以说，在电子半导体设备中，直线导轨扮演着“精密守护者”的角色。
